• Q: ルツボを購入したいのですが、在庫を入手できますか?

    A: 一般に、ルツボは固定仕様の蒸着ボート(#310など)とは異なり、カスタマイズされた製品であるため、在庫はありません。  

    実験またはプロセスの要件に応じて、るつぼの材料とサイズは異なります。
     

    例えば、電子ビーム蒸着に使用されるビスマスは、サイズがスレーと一致する必要があるため、放熱が不十分になるのを防ぎます。また、蒸着角度とコーティング材料の量のために、ルツボ仕様の要件は特に厳しいです。
     

    最も基本的な上下の直径と高さから、内側と外側のガイド角まで、正確な測定が必要です。  見積依頼と同時に、図面または詳細仕様の提供をお願いしますが、どちらも入手できない場合は、後続の操作のためにサンプルを要求します。
     

    必要なサイズの仕様は、公式ウェブサイトのアルバムを参照してください

  • Q: 蒸着ボートが壊れるのはなぜですか?
    A: 蒸着ボートは長期間使用できる器具ではありませんが、再利用できる場合でも消耗品の一種であるため、一定期間使用することをお勧めします。 使用中の過電圧または加熱時間が長すぎると、めっきされる材料の残留物でさえタングステンボートの寿命に影響します。
  • Q: 石英管を何回も使用すると破損したのはなぜですか?
    A: 温度が1100°Cの場合、石英管は長時間使用できますが、温度が高すぎても使用時間が短縮されない場合、耐えられないために石英管が破損します。 実験終了後、温度が下がるのを待たずにチャンバーのドアを開けると、温度差が大きすぎるため、石英管は耐えられず破裂することができません。 さらに、石英管はチャンバー内で気化したコーティング材料にさらされるため、材料が石英管に長時間蓄積し、石英管が霧化(汚染)され、最終的に破裂します。
  • Q: 坩堝が突然バラバラになるのはなぜですか?
    A: 使用時間と回数が増えると、坩堝はターゲット残留物の残留物による不純物を生成し、それが元の材料の融点に影響します。 または、電子銃の磁場が正しく設定されていないため、電子ビームはターゲットに完全に当たらず、ターゲットにバイアスがかかります。 また、冷却水回路の異常は、放熱が悪いため放熱にも影響し、温度に耐えられません。
  • Q: スパッタリング中にターゲットが落ちるのはなぜですか?
    A: コーティングプロセス中にターゲットが落ちる多くの理由があります。
    1.ボンディングに使用されるIn(インジウム)接着剤が十分にコーティングされていません。
    2.冷却水回路が異常であるため、熱が放散されません。
    3.ストライキの時間が長すぎます。
    4.瞬間的な電流は異常であり、ターゲットを耐えられない状態にするために時間内に解決できません。
    5.適用される現在の電力が大きすぎます。