蒸着ボート(W、Mo) / ボックスタイプボート(Mo)

蒸着ボート

真空蒸着プロセスの場合、さまざまなニーズに応じてカスタマイズ可能
Detail
タングステンは非常に硬く、鉄灰色から白色の遷移金属であり、タングステン含有鉱物は赤鉄鉱と灰重石です。
タングステンの物理的性質は非常に強く、特に3422°Cまでの融点では、すべての純金属の中で最高です。
純タングステンは主に電気および電子機器で使用され、その化合物および合金の多くには他の多くの用途があります。

蒸着用のヒーターまたはキャリアは、フィラメント、ボート、バスケット、およびタングステン、モリブデン、
ニオブ、グラファイト、アルミナなどのるつぼに分けることができます。
めっきする材料の反応特性、材料の充填要件などに応じて。

蒸着ボートは、蒸着材料のキャリアです。材料を備えたタングステンボートは、電極の中央に配置されて導電性材料
を形成します。電流が印加された後、タングステンボートが加熱されて材料が溶けて蒸発し、加熱によってガス状の
材料分子が加速されます。基板は凝固し、フィルムとして堆積します。 (以下に示すように)



蒸着ボートの耐用年数と良好なコーティング結果を確保するために、めっきされる材料の融点はタングステンボート
を超えることはできません。約1500℃にすることをお勧めします。
酸化物材料の融点は一般に高いため、タングステンボートは金属材料の蒸着に主に使用されます。

蒸着ボートにはさまざまなサイズがあるため、プロセスのニーズに応じて適切なタングステンボートを選択できます。
 (例えば:215、2は0.2 mmの厚さ、15は15 mmの幅、長さは通常100 mmです。)



当社の金型は全体として最も完成度が高く、本格的な評価と生産を提供し、実験と生産のニーズに合わせて
カスタマイズできる超大容量蒸着ボートの生産に特化できます。
 カスタム製品は、その後の評価を容易にするために要件仕様を提供する必要があります。



素材の特性上、一般的にタングステンボートの深さは8mmを超えることはできませんが、過度の曲げは破損の原因とな
りますので、箱型の蒸発皿が必要な場合、素材としてモリブデンが一般的に使用されます。 モリブデンの融点は約
2600℃で、タングステンに比べて耐熱性は低いですが、常温・高温で高強度の高融点金属です。
モリブデンは、より深い箱型に曲げることができ、要件に応じて上部カバーにすることもできます。

お客様のニーズに応じて、ご提案やカスタマイズ製品をご提供いたします。




使用中、何らかの原因で蒸着ボートが破損することは避けられないため、三達光学のWebサイトのよくある質問を
参照するか、当社の専門家にご連絡ください。