モニター水晶

モニター水晶

薄膜蒸着の蒸着量を膜重量の変化として捉えるセンサーにご使用頂けます。
Detail

クォーツが絞られると、バッテリーのように電流を生成します(一般的に圧電性と呼ばれます)。

逆に、バッテリーが圧電クリスタルに接続されている場合、クリスタルは圧縮または伸縮します。揺れます。 
 

結晶の表面に薄膜がメッキされると、結晶の振動が弱まり、この振動または周波数の減少は、膜の厚さと密度によって決まります。結晶コーティングの厚さと隣接する基板フィルムの厚さを監視するための振動。
 

Sunda Opticalは、金メッキと合金の2つの標準電極材料を提供しています。
 

金めっきは、最も広く使用されている従来の材料であり、接触抵抗が低く、化学的安定性が高く、堆積が容易です。金メッキ水晶振動子は、金、銀、銅などの低応力材料の膜厚制御に最適です。 
 

合金水晶振動子板は、SiOSiO2MgF2、その他の酸化物などの高応力材料のコーティング監視に適しています。製造プロセス中、これらの基板は、基板の高張力または重力引力により変形し、周波数ホッピングを生じます。合金電極は応力を効果的に分散できるため、水晶振動子は寿命に影響を与えることなく、より安定して振動できます。

 

電極材料

メリット

デメリット

金メッキ

(標準タイプ)

1. 酸化しない

2. 長い貯蔵寿命

3. 最も広く使用されており、さまざまな材料のコーティングプロセスに適しています

1. 用途によっては、耐用年数は合金や銀よりも短くなります(例:光学コーティングで使用される材料)。

合金

(高応力材料コーティング)

4. 光学フィルムおよび半導体用の高応力材料は、長寿命です。

5. 金メッキや銀メッキと比較して、高応力材料に最適な水晶振動子です。

2. 合金電極は酸化され、金メッキよりも保管寿命が短くなる場合があります。

3. 通常の応力を持つコーティング材料(高応力材料以外)には特別な利点はありません。


品質要件のため、三達光学モニター水晶は工場を出る前にテストされており、各シェーカーが適切に機能し、
コーティングの品質を制御していることを確認しています。

モニター水晶の動作原理の詳細については、以下の注意事項と試験項目を参照してください。

【関連ダウンロード:モニター水晶-材料仕様】

【関連ダウンロード:モニター水晶-安全データシート】

【関連ダウンロード:モニター水晶工場検査報告書】