電子ビーム（Eビーム/ Eガン）蒸着では、電子銃によって生成された電子ビームを使用してターゲット材料に衝撃を与え
、ターゲット材料を溶融し、蒸発させて、めっきされる基板に付着させます。
初期の蒸着のほとんどはサーミスタ加熱法を使用しますが、ターゲットとるつぼは加熱源に直接接触しているため、
蒸着できる材料の種類が制限され、ターゲットの摩耗量が大きく、得られた膜の純度が不十分で、電子ビーム蒸着法を
使用できます。
熱蒸発の制限を効果的に改善します。電子ビーム蒸着法は、高エネルギー電子ビームの運動エネルギーを溶融
ターゲットの熱エネルギーに変換し、融点に近い温度で飽和蒸気圧でターゲットをコーティングします。
優れた熱変換効率に加えて、この方法は蒸発速度を正確に制御することもでき、ターゲットタイプの選択に対する制限
が少なくなります。
コーティングプロセス中、電子銃ヘッドの磁場設定に注意を払う必要があります。
設定が間違っていると、ターゲット材料に衝突せず、表面がたわんで、坩堝が損傷し、コーティング性能が低下
する可能性があります。
三達光学は、ULVAC、TELEMARK、TEMESCAL、JOEL、PLASMATECHなどの主要ブランドを提供しています。
これらはすべて生産可能です。さらに、電子銃のヘッドの内部部品も販売されています。
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